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CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制

刘长洪 , 李文治 , 李恒德

金属学报

研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成．离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ_４高子束增强沉积膜的显微硬度高．ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＡＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ_４离子束轰击引入过量的自由碳原子．

关键词: ＴｉＣ薄膜 , ion beam enhanced deposition , hardness